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ECR等离子体化学气相沉积GaN薄膜
  • 所属机构名称：华南师范大学
  • 会议名称：2007年第十届全国MOCVD 学术会议，广州
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：蓝光功能薄膜材料的低温等离子体制备和研究
作者： 陈俊芳，符斯列 等.
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