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A Differential Capacitive Accelerometer with Four Folded Springs and Changeable Area
  • 所属机构名称:吉林大学
  • 会议名称:International Conference on Advanced Materials and Engineering Materials (ICAMEM 2011)
  • 时间:2012
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:基于氟化聚酰亚胺AWG的光开关及其关键技术研究
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