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用于热机械微纳加工的Al掺杂多晶硅加热器的制备
  • 所属机构名称：中国科学技术大学
  • 会议名称：中国微米纳米技术学会第十一届学术年会, 2009
  • 成果类型：会议
  • 会场：哈尔滨
  • 相关项目：基于微探针的热机械式高分子纳米结构加工机理研究
作者： 褚家如|赵钢|荣皓|
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