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磁控溅射生长非晶Ti-Zn-Sn-O（TZTO）薄膜及其性能研究
  • 所属机构名称：浙江大学
  • 会议名称：第六届全国氧化锌学术会议
  • 时间：2013.12.12
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：ZnO基薄膜室温生长及全透明柔性薄膜晶体管研究
作者： 孙汝杰|吕建国|吴传佳|张杰|叶志镇|
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