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Performance comparison of typical electrothermal actuators
  • 所属机构名称：上海大学
  • 会议名称：14th Annual Conference and the 3rd International Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Tec
  • 时间：2013
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：MEMS典型机构的传动特性与失效机理分析
作者： 沈雪瑾|
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