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Effect of substrate temperature on high rate deposited ZnO:Al films by magnetron sputtering
  • 所属机构名称：中国地质大学（北京）
  • 会议名称：International Conference on Frontiers of Advanced Materials and Engineering Technology (FEMET 2012
  • 时间：2012
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：表面等离激元增强纳米硅薄膜太阳能电池的研究
作者： Li, Weimin|Hao, Huiying|
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