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design of co-path scanning long trace profiler for measurement of x-ray space optical element
  • 所属机构名称:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 会议名称:Sixth International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation;SPIE Vol. 75
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:太阳等离子体极紫外多光谱成像关键技术研究
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