design of co-path scanning long trace profiler for measurement of x-ray space optical element
- 所属机构名称:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 会议名称:Sixth International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation;SPIE Vol. 75
- 成果类型:会议
- 相关项目:太阳等离子体极紫外多光谱成像关键技术研究