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等离子体浸没离子注入在绝缘材料
  • 所属机构名称：哈尔滨工业大学
  • 会议名称：国内，头口报告，2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议, pp. 138-144, 2004年9月, 乌鲁木齐
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：栅网诱导的抗原子氧效应的梯度涂层制备及其侵蚀机理
作者： 田修波*, 杨士勤, Ricky K. Y. F
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