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Experiment study of nanometrological AFM based on 3-D F-P interferoment
  • 所属机构名称：中国计量学院
  • 会议名称：International Photonics 2009
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：微观粒子几何作用尺度（GAS）及其极限研究
作者： Huang YU|Zhu Ruogu|
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