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A fixed arc length direct current plasma torch for reduced pressure deposition of thin films
  • 所属机构名称：中国科学院力学研究所
  • 会议名称：10th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology (APCPST)
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：ZrB2/SiC超高温复合陶瓷的双等离子体法制备及其组织结构与性能表征
作者： Pan, Wenxia|Huang, Heji|Fu, Zhiqiang|Wu, Chengkang|
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