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Dual Mode Predictive Control for Ultrafast Piezoelectric Nanopositioning Stages
  • 所属机构名称:华中科技大学
  • 会议名称:2011 IEEE International Conference on Robotics and Automation
  • 时间:2011.5.5
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:纳米喷印微环境预测控制技术研究
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