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A new method used to control the structure of high rate microcrystalline silicon thin films
  • 所属机构名称：南开大学
  • 会议名称：23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, ICANS23
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于硅基薄膜太阳电池沉积过程中的瞬态与稳态等离子体空间反应机理研究
作者： Zhang, X.D.|Zhang, H.|Yue, Q.|Wei, C.C.|Sun, J.|Hou, G.F.|Xiong, S.Z.|Geng, X.H.|Zhao, Y.|
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