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DESIGN AND FABRICATION OF A HOLLOW MICRO-DISK MASS SENSOR
  • 所属机构名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 会议名称：IEEE Conference on Sensors 2009
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于简并－解并原理的自参比高灵敏度生化检测微陀螺
作者： Zhang Y.|Zhao L.|Mi B. W.|Jiao J. W.|
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