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Theoretical Investigation of Plasma Ion Implantation into Cylindrical Bore Based on Internal Inducti
  • 所属机构名称:哈尔滨工业大学
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:微小电感耦合射频等离子体细长管筒内表面离子注入新技术及应用研究
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