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光辅助 MOCVD法制备 Y2O3薄膜及其结晶性质分析
  • 所属机构名称:吉林大学
  • 会议名称:第十二届全国MOCVD学术会议
  • 时间:2012.4.4
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:光辅助MOCVD法制备多层结构提高厚YBCO 外延膜电流承载能力的研究
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