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反向流动垂直喷淋式MOCVD反应器
  • 所属机构名称：江苏大学
  • 会议名称：全国MOCVD学术会议论文集，中国科技大学，2005
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：利用电晕放电控制化学气相沉积输运过程的探索
作者： 徐谦、左然、张红
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