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A new type of MEMS Ultrasonic separator based on 2-D normal mode
  • 所属机构名称：电子科技大学
  • 会议名称：2009 IEEE International Ultrasonics Symposium
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：MEMS中基于多模谐振的超声波悬浮颗粒分离方法研究
作者： Chenhui Hua|Jiexiong Ding|Yuxiang Wang|
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