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A High Order Mode 6.4GHz Ultra-High Sensitivity Nanoscale Surface Acoustic Wave Biosensor
  • 所属机构名称:清华大学
  • 会议名称:2013 IEEE International Electron Devices Meeting, IEDM 2013
  • 时间:2013.12.12
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:集成化射频高Q薄膜体声波谐振器
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