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Study of piezo-induced surface vibration in solids using atomic force probe
  • 所属机构名称：浙江大学
  • 会议名称：中国微米纳米技术学会第十四届学术年会暨第三届国际会议
  • 时间：2012.11.4
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于同步辐射LIGA技术的微纳驱动器件制备及其驱动新方法研究
作者： 张冬仙|
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