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碳纳米管阵列的等离子体表面功能化
  • 所属机构名称:上海理工大学
  • 会议名称:中国真空学会2012年学术年会
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:用于自形成扩散阻挡层的铜基稀合金薄膜在超临界流体中的沉积机理研究
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