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电感耦合射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜：偏压的影响.
  • 所属机构名称：中国科学院兰州化学物理研究所
  • 会议名称：第七届全国表面工程学术会议
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：空间环境条件下类金刚石复合碳膜的摩擦学行为及机理研究
作者： 李红轩|权伟龙|周惠娣|陈建敏|吉利|赵飞|
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空间环境条件下类金刚石复合碳膜的摩擦学行为及机理研究
期刊论文 31 会议论文 3 获奖 1 专利 3
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