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State Engine Based Validation of MEMS Process Sequences
  • 所属机构名称：南开大学
  • 会议名称：4 th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems(IEEE-NEMS 2
  • 成果类型：会议
  • 会场：Shenzhen
  • 相关项目：MEMS设计自动化关键技术与系统研究
作者： Xu Zhao|Guizhang Lu|Xin Zhao|
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MEMS设计自动化关键技术与系统研究
期刊论文 10 会议论文 14 专利 1 著作 1
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