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Monolithic composite-sensors designed and fabricated by a low-cost single-side 'SiN/poly-Si/
  • 所属机构名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 会议名称：IEEE 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2013
  • 时间：2013
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：片上纳米磁介质射频可调微电感器件研究
作者： Ni, Zao|Yang, Chen|Xu, Dehui|Zhou, Hong|Zhou, Wei|Li, Tie|Xiong, Bin|Li, Xinxin|
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