位置：成果数据库 > 会议 > 会议详情页
IP library-based general and visualized MEMS device simulation and verification tool
  • 所属机构名称：南开大学
  • 会议名称：4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems(IEEE-NEMS 10)
  • 成果类型：会议
  • 会场：Xiamen
  • 相关项目：MEMS设计自动化关键技术与系统研究
作者： Guizhang Lu|Yiyong Tan|Xin Zhao|Xin Li|
同会议论文项目
MEMS设计自动化关键技术与系统研究
期刊论文 10 会议论文 14 专利 1 著作 1
同项目会议论文
3-D Simulation of Bosch Process with Voxel-Based Method
Virtual Operation of MEMS Devices Based on FEM Simulation
A novel design methodology for MEMS device
On MEMS Design Automation
基于体绘制技术的虚拟光刻系统建模与实现
An Improved Parallel Implementation of 3D DRIE Simulation on GPU
激光退火 SiC MEMS 谐振器自选择性的 ANSYS 仿真
参数化的 MEMS 器件可视化建模方法 - 虚拟组装
A Method of Dynamic Analysis for Accelerometer Base on Separated Time and Space
An Improved Parallel Implementation of 3-D DRIE Simulation on Multi-core Processors
State Engine Based Validation of MEMS Process Sequences
静电梳齿驱动微夹钳的设计、制造和测试
基于维诺图微观颗粒表示的硅材料沿晶界断裂分析