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一种基于MEMS技术的新型空中电场传感器
  • 所属机构名称：中国科学院电子学研究所
  • 会议名称：第十三届全国敏感元件与传感器学术会（STC2014）
  • 时间：2014.10.11
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：单片集成旋转谐振式微型三维电场传感器研究
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