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Design of a Single-plane Two-dimensional Micropositioning Stage Based on the Oval Amplification Mech
  • 所属机构名称:苏州大学
  • 会议名称:2013 IEEE International Conference on Information and Automation,ICIA 2013
  • 时间:2013
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:高精度定位平台环境微扰动机理与主动补偿方法研究
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