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硅片自旋转磨削面型的研究
  • 所属机构名称：大连理工大学
  • 会议名称：第五届海峡两岸制造技术研讨会论文集
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：超精抛光中纳米行为和化学作用及平整化原理技术
作者： 郭东明，田业冰，康仁科，金洙吉
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期刊论文 69 会议论文 8
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