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A Micro spatial light modulator based on leverage principle
  • 所属机构名称：中国科学院光电技术研究所
  • 会议名称：12th Annual Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Technology, CSMNT and 2nd International
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：自适应光学系统中MEMS变形镜的空间和时间特性研究
作者： Ren, Hao1, 2|Ni, Zugao1, 2|Chen, Jianming3|Gong, Ailing3|Yao, Jun1|
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