位置：成果数据库 > 会议 > 会议详情页
Ultrahigh-Resolution MEMS Humidity Sensing Elements Based on Film Bulk Acoustic Wave Resonators
  • 所属机构名称：天津大学
  • 会议名称：14th Annual Conference and the 3rd International Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Tec
  • 时间：2013.7.7
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：高性能MEMS体波谐振器理论与实验研究
作者： Hongyuan Zhao|Daihua Zhang|Wei Pang|Hao Zhang|
同会议论文项目
高性能MEMS体波谐振器理论与实验研究
期刊论文 3 会议论文 1 专利 4
同项目会议论文