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Characterization of pattern dependencies in copper chemical mechanical planarization
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：The 3rd International Tribology Symposium of IFToMM
  • 时间：2013
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于电化学的化学机械平坦化终点检测方法及实验研究
作者： Wang Tongqing|Lu Xinchun|Zhao Dewen|Luo Jianbin|
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