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A latching bistable microswitch using dual-beam electrothermal actuation
所属机构名称:上海交通大学
会议名称:In Proc.5th IEEE Int. Conf. Nano/Micro Eng. Molecular Syst.
成果类型:会议
相关项目:永磁锁定的双稳态电热微驱动器预微继电器研究
作者:
Yibo Wu|Jun Tang|Guifu Ding|Hong Wang|Shengping Mao|
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