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晶化温度和浆料浓度对0-3法制备PZT厚膜应力的影响研究
  • 所属机构名称:中国科学院声学研究所
  • 会议名称:中国科学院声学研究所青年学术会议
  • 时间:2012.10.10
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:基于PZT薄膜的微压电超声换能器研究
作者: 任伟|李俊红|
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