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Phase noise analysis of micromechanical silicon resonant accelerometer
ISSN号:0924-4247
期刊名称:Sensors and Actuators A: Physical
时间:2013.8.1
页码:15-24
相关项目:基于MEMS惯性传感器网络的帕金森病姿态监控和评估技术
作者:
Shi Ran|Jia Fang-xiu|Qiu An-ping|Su Yan|
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