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Phase noise analysis of micromechanical silicon resonant accelerometer
  • ISSN号:0924-4247
  • 期刊名称:Sensors and Actuators A: Physical
  • 时间:2013.8.1
  • 页码:15-24
  • 相关项目:基于MEMS惯性传感器网络的帕金森病姿态监控和评估技术
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