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Carbon nanometer films prepared by plasma-based ion implantation on single crystalline Si wafe
  • 期刊名称:Applied Surface Science
  • 时间:0
  • 页码:226: 387-392,2004
  • 语言:英文
  • 相关项目:硅材料表面钠米化处理及其微观摩擦学性能研究
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