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Study of dynamic characteristics of resonators for MEMS resonant vibratory gyroscopes
  • ISSN号：0946-7076
  • 期刊名称：Microsystem Technologies
  • 时间：0
  • 页码：639-647
  • 相关项目：谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器
作者： Li Yan|Fan Shangchun|Guo Zhanshe|Li Jing|Cao Le|
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谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器
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