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fabrication and measurement of traceable pitch standard with a big area at trans-scale
  • 期刊名称：Chine.Phys.B
  • 时间：2014.9.1
  • 页码：1-5
  • 相关项目：基于原子操控的纳米节距标准的关键理论与技术研究
作者： 邓晓,李同保|雷李华|马艳|
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