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The study of Ga+ FIB implanting crystal silicon and subsequent annealing
  • ISSN号:0168-583X
  • 期刊名称:Nuclear Instruments and Methods in Physics Researc
  • 时间:2013.7.7
  • 页码:253-256
  • 相关项目:纳米切削基础理论及相关关键技术研究
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