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一种实现离轴非球面反射镜离轴量和离轴角精确测量的方法
  • ISSN号:0258-7025
  • 期刊名称:《中国激光》
  • 时间:0
  • 分类:TN206[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]中国科学院西安光学精密机械研究所,陕西西安710119, [2]中国科学院大学,北京100049
  • 相关基金:国家自然科学基金(40805013)
中文摘要:

离轴三反系统的装调主要采用初始定位与计算机辅助装调相结合的方法,实际加工过程中由于检测手段的限制,使得离轴量以及离轴角的控制精度较低,根据加工提供的离轴量参数并以其背部平面为基准进行反射镜初始定位会引入较大的初始像差,用计算机辅助装调无法收敛。基于自准直原理,进行反射光路分析,得出离轴反射镜位置与反射像位置的数学关系,并基于以上数学关系提出一种可精确测量离轴反射镜离轴量以及离轴角的系统,该系统包括高精度90°直角弯板、高精度直线导轨、中心定位特种工装、内调焦望远镜以及测微光管,其测量离轴量以及离轴角的精度分别为±0.05mm和土10”。

英文摘要:

The alignment method of off-axis three-mirror anastigmat combines initial positioning and computer-aided alignment. During manufacturing, due to the limit of testing methods, the off-axis fabrication and off-axis angle cannot be measured precisely. The initial positioning based on the manufacturing off-axis parameter can bring large initial aberration, which can not be converged when using computer-aided alignment. The optical path is analyzed based on the auto-collimation principle, and the mathematic relationship between the position of off-axis mirror and the reflected image is derived. A system based on the relationship is given to measure the off-axis fabrication and off axis angle, it includes the right angle plate of high precision, linear guides of high precision, the special center orientation tool, internal focusing telescope and self-standardized micro-flat optical tube. The measurement accuracy of off-axis fabrication and off-axis angle respectively.

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期刊信息
  • 《中国激光》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国光学学会 中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 主编:周炳琨
  • 地址:上海市嘉定区清河路390号
  • 邮编:201800
  • 邮箱:cjl@siom.ac.cn
  • 电话:021-69917051
  • 国际标准刊号:ISSN:0258-7025
  • 国内统一刊号:ISSN:31-1339/TN
  • 邮发代号:4-201
  • 获奖情况:
  • 中国自然科学核心期刊,物理学类核心期刊,无线电子学·电信技术类核心期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:26849