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An analogue contact probe using a compact 3D optical sensor for micro/nano coordinate measuring mach
  • ISSN号：0957-0233
  • 期刊名称：Measurement Science and Technology
  • 时间：2014.9
  • 页码：-
  • 相关项目：振动接触式3D纳米测头触发机理及应用研究
作者： Miao, Jin-Wei|Huang, Qiang-Xian|Tao, Sheng|Gong, Er-min|
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