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表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感
  • 期刊名称：半导体学报. 27(10). 1844-1850, 2006
  • 时间：0
  • 相关项目：面向蛋白芯片和癌症诊断芯片的纳米悬臂梁生物传感器阵列
作者： 庄志伟 王喆垚* 刘理天
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