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压电陶瓷微进给机构直流高压电源
  • 期刊名称:电子元件与材料,24(9):42-44,2005.2 IEE INSPEC 收录源
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  • 相关项目:电荷反馈式压电陶瓷精密定位机构及非线性控制技术研究
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