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Thermal stability, phase and interface uniformity of Ni-Silicide formed by Ni-Si solid-state reactio
  • 期刊名称:Thin Solid Films
  • 时间:0
  • 页码:462-463, 146-150 (2004).
  • 语言:英文
  • 相关项目:多层薄膜固相反应与Co-Ni系硅化物薄膜外延及应用研究
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