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100% Fill-Factor Aspheric Microlens Arrays (AMLA) With Sub-20-nm Precision
  • ISSN号:1041-1135
  • 期刊名称:IEEE Photonics Technology Letters
  • 时间:2009.10.10
  • 页码:1535-1537
  • 相关项目:飞秒激光微纳加工在高性能微光学元件制造中的应用基础研究
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