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碳浓度对磁控溅射法制备W-Si-C-N涂层的结构和性能的影响
  • ISSN号：0921-5107
  • 期刊名称：Materials Science and Engineering B-Solid State Ma
  • 时间：2012.10.1
  • 页码：1120-1125
  • 相关项目：钨衬底上W-X-C(N)涂层的重水腐蚀机理研究
作者： 杨俊峰|蒋燕|袁志刚|王先平|方前锋|
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期刊论文 13 专利 2
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