低维纳米材料相对于传统材料因其独特的物理化学性能已经成为研究热点。其制备方法主要有气相沉积法、电化学沉积法、模板法和聚焦电子束诱导沉积法等。所谓聚焦电子束诱导沉积法是指将电子束汇聚到几纳米区域的基材上,同时注入适当气氛,进而在基材上生成纳米线、纳米锥、纳米棒和纳米点等低纳纳米材料的方法。