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“红外吸收光谱法研究磁控溅射沉积SiOx非晶薄膜的过程
  • 期刊名称：光谱学与光谱分析 27, 456（2007）
  • 时间：0
  • 相关项目：硅纳米晶的可控性制备及其场致发光性能的提高
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