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On-Chip Temperature-control Technology for Silicon Micro-gyroscope
  • ISSN号：1013-9826
  • 期刊名称：Key Engineering Materials
  • 时间：0
  • 页码：228-231
  • 相关项目：硅微陀螺阵列技术及其信号处理方法研究
作者： Lu Xu|Bo Yang|Shourong Wang|Hongsheng Li|Libin Huan|
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