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Solid-phase reaction and Schottky contact properties of Co/n-poly-Si0.84Ge0.16/n-Si (100)
  • 期刊名称:J. Vac. Sci. Technol.
  • 时间:0
  • 页码:B22(4), 1705-1710 (2004).
  • 语言:英文
  • 相关项目:多层薄膜固相反应与Co-Ni系硅化物薄膜外延及应用研究
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