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A novel micro-accelerometer with adjustable sensitivity based on resonant tunnelling diodes
  • ISSN号：1674-1056
  • 期刊名称：《中国物理B：英文版》
  • 时间：0
  • 分类：TN312.2[电子电信—物理电子学] TH824.4[机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]
  • 作者机构：[1]Key Laboratory of Instrumentation Science and Dynamic Measurement of the Ministry Education North University of China, Taiyuan 030051, China, [2]Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing 100871, China
  • 相关基金：Project supported in part by the National Natural Science Foundation of China （Grant No 50775209）, the Fork Ying Tung Education Foundation （Grant No 101052） and Program for Excellent Talents by Ministry of Education of China.
作者： 熊继军[1], 毛海央[2], 张文栋[1], 王楷群[1]
关键词： 共振隧道二极管, 微加速度计, 可调范围, 灵敏度, 压阻式加速度计, RTDS, 电流电压特性, 惠斯登电桥, micro-accelerometer, piezoresistance effect, resonant tunnelling diode （RTD）, sensitivity
中文摘要：

Corresponding author. E-mail： xiongjijun@nuc.edu.cn

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期刊信息
  • 《中国物理B：英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国物理学会和中国科学院物理研究所
  • 主编：欧阳钟灿
  • 地址：北京 中关村 中国科学院物理研究所内
  • 邮编：100080
  • 邮箱：
  • 电话：010-82649026 82649519
  • 国际标准刊号：ISSN：1674-1056
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5639/O4
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 被引量:406