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面向微电子超声键合的精密气浮定位平台特性分析
  • ISSN号：0253-360X
  • 期刊名称：焊接学报
  • 时间：2014
  • 页码：77-80
  • 分类：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]
  • 作者机构：[1]天津大学机械工程学院
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目(51205279);天津市应用基础与前沿技术青年项目(13JCQNJC04100);天津大学北洋学者青年骨干教师项目(60301014)
  • 相关项目：音圈电机直驱的柔性解耦定位系统动力学特性与控制方法
作者： 梁存满|王福军|杨庆国|张大卫|
关键词： 气浮支撑, 定位平台, 特性分析, 有限元方法, 超声键合
中文摘要：

基于有限元方法,详细考察了两自由度气浮支撑定位平台的静动态特性.建立了定位平台的有限元模型,分别对其进行了静态、模态和瞬态分析.通过静态分析,考察了系统在静力载荷作用下的响应特性;经模态分析,获取了定位平台的固有频率以及模态振型;通过施加脉冲力激励,探讨了系统的脉冲响应,通过方波力信号模拟定位平台的实际工作状态,得到了定位平台的瞬态响应特性.结果表明,该定位平台具有良好的静动态特性,为该类气浮支撑定位平台的结构优化设计与控制提供了重要信息.

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期刊信息
  • 《焊接学报》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国机械工程学会 中国机械工程深地焊接学会 哈尔滨焊接研究所
  • 主编：王亚
  • 地址：哈尔滨市松北区创新路2077号
  • 邮编：150028
  • 邮箱：hjxbbjb@126.com
  • 电话：0451-86323218
  • 国际标准刊号：ISSN：0253-360X
  • 国内统一刊号：ISSN：23-1178/TG
  • 邮发代号:14-17
  • 获奖情况:
  • 1990年获机械电子工业部年度优秀科技期刊二等奖,1992年获中国科学技术协会优秀学术期刊三等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:15422